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      光刻鍵合工藝
     
       
      
    光刻工藝
    Contact Aligner 1:1
    最小線寬:1um
    對準精度:1um(頂部對準)& 2um(底部對準)
    兼容4英寸和6英寸晶圓
    Lift-Off
      
    鍵合工藝
    Si-Glass陽極鍵合
    Si-Si直接鍵合
    Glass-Si-Glass三層鍵合
    Si-Glass-Si三層鍵合
    金屬共晶鍵合
    熱壓鍵合
    粘結劑鍵合

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